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真空型焼結炉
最高温度 1,600℃
最高真空度 1×10(−6乗)Torr
ベル型真空熱処理炉
最高温度 600℃
最高真空度 1×10(-5乗)Torr
双頭型真空熱処理炉
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箔製作工程 (2段圧延機)
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